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晶圓片托架落座傳感器 EE-SPY801 / 802

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晶圓片托架落座傳感器 EE-SPY801 / 802

晶圓片托架的落座檢測
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通過與導槽并用的方式設定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂

獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調光方式

使用環保導線(無滑石粉)


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